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溫區(qū)尺寸：400mm
爐管材質(zhì)：高純大肚石英管
真空度：10Pa
測量真空：電阻真空計
流 量 計：質(zhì)量流量計3路混氣系統(tǒng)
可傾斜角度：35°
旋轉(zhuǎn)方式：360度正轉(zhuǎn)或倒轉(zhuǎn)（旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)）
本公司生產(chǎn)規(guī)格較多，更多規(guī)格詳情，請聯(lián)系客服！
用途：應(yīng)用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。
該款CVD系統(tǒng),加熱元件可為電阻絲（1200℃以下使用）
CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成；
1）加熱系統(tǒng)可以單溫區(qū)，溫區(qū)長度440mm
2）真空系統(tǒng)可為低真空，極限真空可以達(dá)到10Pa（也可選擇分子泵機組）
3）供氣系統(tǒng)為質(zhì)量流量計混氣，氣路由3路相混合（主要根據(jù)客戶工藝要求定制）；
1、加熱系統(tǒng)爐膛采用高純氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能，反射率高、溫場均衡，等特點；
2、加熱元件采用含鉬電阻絲，最高發(fā)熱溫度可達(dá)1200℃；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由3路質(zhì)量流量計，流量顯示儀等組成，實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)
均勻性。
4、爐管采用高純大肚石英管高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受急冷急熱的溫度。
5、加熱采用上開啟式，超溫和斷偶保護(hù)警報并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。
6、爐管360度旋轉(zhuǎn)可正轉(zhuǎn)也可以倒轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動速度可調(diào)節(jié)，可傾斜角度可調(diào)最大角度35度。
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質(zhì)量保證
采用100%優(yōu)質(zhì)原料制作，質(zhì)量放心可靠。
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發(fā)貨速度快，免費安裝調(diào)試和技術(shù)培訓(xùn)。
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365天×24小時提供技術(shù)支持和咨詢服務(wù)。
