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工作溫度：1300度
溫區(qū)尺寸：300mm
爐管材質(zhì)：高純剛玉管
爐管管徑：60mm
真空度：10Pa
測(cè)量真空：電阻真空計(jì)
流 量 計(jì)：質(zhì)量流量計(jì)2路混氣系統(tǒng)
本公司生產(chǎn)規(guī)格較多，更多規(guī)格詳情，請(qǐng)聯(lián)系客服！
用途：應(yīng)用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)用的理想產(chǎn)品。
該款CVD系統(tǒng), 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒（1400℃以下使用）
CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成；
1）溫區(qū)總長(zhǎng)300mm，恒溫區(qū)200mm；
2）真空系統(tǒng)為低真空，最高極限真空可以達(dá)到10Pa，也可選擇高真空機(jī)組（擴(kuò)散泵或分子泵機(jī)組）；
3）供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)為質(zhì)量流量計(jì)，混氣路數(shù)4路相混合（主要根據(jù)客戶工藝要求選擇）。
1、加熱系統(tǒng)爐膛采用高純氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能，反射率高、溫場(chǎng)更均勻等特點(diǎn)；
2、加熱元件采用優(yōu)質(zhì)硅碳棒，最高發(fā)熱溫度可達(dá)1400℃；
3、質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由4路質(zhì)量流量計(jì)，流量和真空度顯示采用七寸觸摸屏等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；每條氣體管路
均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、爐管采用高純石英管高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受急冷急熱的溫度。
5、加熱采用上蓋開啟式，超溫和斷偶保護(hù)警報(bào)并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。
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質(zhì)量保證
采用100%優(yōu)質(zhì)原料制作，質(zhì)量放心可靠。
快速發(fā)貨
發(fā)貨速度快，免費(fèi)安裝調(diào)試和技術(shù)培訓(xùn)。
售后服務(wù)
365天×24小時(shí)提供技術(shù)支持和咨詢服務(wù)。
