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工作溫度：1600度
溫區(qū)尺寸：兩個(gè)溫區(qū)總長600mm
爐管材質(zhì)：高純剛玉管
真空度：10ˉ3Pa
真空機(jī)組：旋片泵和分子泵
流 量 計(jì)：質(zhì)量流量計(jì)4路混氣系統(tǒng)
用途：應(yīng)用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)用的理想產(chǎn)品。
該款CVD系統(tǒng), 采用雙溫區(qū)加熱形式，加熱元件采用硅鉬棒（1700℃以下使用）。
CVD管式爐由供氣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成；
1）加熱系統(tǒng)為雙溫區(qū)結(jié)構(gòu)每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)進(jìn)行控溫；
2）高真空系統(tǒng)采用分子泵機(jī)組，最高極限真空可以達(dá)到10-3Pa；
3）供氣系統(tǒng)是質(zhì)量流量計(jì)，混氣路數(shù)4路相混合（主要根據(jù)客戶工藝要求定制）
1、加熱系統(tǒng)爐膛采用高純氧化鋁多晶纖維制成，保溫效果好，耐用節(jié)能，反射率高、溫場均衡，等特點(diǎn)；
2、加熱元件采用高溫硅鉬棒，最高發(fā)熱溫度可達(dá)1700℃；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由4路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、加熱采用上蓋開啟式，超溫和斷偶保護(hù)警報(bào)并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。
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采用100%優(yōu)質(zhì)原料制作，質(zhì)量放心可靠。
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